特种气体氟气在线分析仪

特种气体行业对石油天然气、石化、消费电子、分析研究、手套箱应用等多个领域至关重要。特种气体的增长主要归因于从LED到半导体电子产品需求的增加。高纯度气体在消费电子制造过程中起着重要作用。2020年全球市场估值为100亿美元，预计将继续增长。

供应商需要在产品发货前验证气体浓度作为质量控制的一部分。OMA-406机架式分析仪使用色散紫外光谱技术测量氟、氯、硫化氢、二氧化硫、氨气等气体混合物的浓度。全谱分析使单个分析仪可以校准多个范围和多种分析物。特种气体制造商可以利用OMA-406的多功能性简化质量控制程序。

测量准分子激光气体混合物中的F₂/Cl₂

准分子激光器在工业上的应用广泛，从微芯片电路的图案化、晶体管层的结合到视力矫正。这些激光器利用特定组合的卤素气体、稀有惰性气体和缓冲气体。这些气体混合物通常由2-9%的惰性气体（氪、氩或氙）、0.2%的卤素气体（氯或氟）和90-98%的缓冲气体（氦或氖）组成。当这些气体的特定混合物提供适当的电刺激和压力时，会发出不同波长的深紫外（DUV）光。

特种气体公司生产含有XeF或KrCl混合物的混合气瓶，销售给操作准分子激光器的公司。准分子激光气瓶在生产过程中必须严格监控。此外，还需要验证混合气瓶，并量化卤素气体。

OMA-406机架式分析仪持续输出F₂和Cl₂读数，大约每5秒提供一次新测量读数。在生产准分子激光气体混合物时，响应时间T90至关重要，以应对产品质量的突然变化。

F₂吸收光谱：1.08% F₂

Cl₂吸收光谱：4890 ppmv Cl₂

• 使用紫外-可见光分光光度计连续测量氟、氯、硫化氢、二氧化硫、氨气或其他气体混合物的浓度。
• 全固态设计，无活动部件，无消耗物质，维护成本低。
• 额外的软件平台可支持多达4种化学分析物。
• 安全的光纤设计，样气不会进入仪表内部，是此类应用的最安全解决方案。